厚度范围

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

准确度（取决于材料0.4%或2nm之间取较大者）

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

样品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

测量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸（可选微光斑附件。）

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在线

是

是

是

是

扫描选择

XY可选

XY可选

XY可选

XY可选