对氦气的最小检测漏率

5 · 10-13 Pa m3/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

4He, 3He, H2

启动时间

约3 min

对氦气的抽气速度

2.5 l/s

进气口最大压力

25 hPa

前级泵抽速

15 m3/h

重量

56 kg