特征参数：

H2纯度：99.99995%

H2流量：160-500ml/min

H2输出压力：5 bar max

ZA纯度：+ZA at max0.05THC， -75℃ DP

ZA流量：1.5 to 3 L/min

ZA输出压力：5 bar max

免维护

通讯端口：带触摸屏的全彩显示屏; USB，RS485和以太网等接口