特征参数：

H2纯度：99.99995%

H2流量：100-500ml/min

H2输出压力：5 bar max

ZA纯度：+ZA at -60℃ DP

ZA流量：1.5 to 6 L/min

ZA输出压力：5 bar max

N2纯度：99.99995%

N2流量：70-500ml/min

N2输出压力：5 bar max

免维护

通讯端口：带触摸屏的全彩显示屏; USB，RS485和以太网等接口