特征参数:
H2纯度:99.999%
H2流量:Custom outflow
H2输出压力:5 bar max
ZA纯度:+ZA at -60℃ DP
ZA流量:Custom outflow
ZA输出压力:5 bar max
N2纯度:99.999%
N2流量:Custom outflow
N2输出压力:5 bar max
免维护
通讯端口:带触摸屏的全彩显示屏; USB,RS485和以太网等接口