技术规格：

1. 支持最大晶圆尺寸：300mm

2. X-Y轴移动重复性：+/-1.5mm

3. X-Y轴移动分辨率：5 mm

4. X-Y轴移动速率：50mm/s

5. Z轴移动重复性：+/-1mm，移动分辨率：1mm

6. Z轴移动速率：10mm/s

7. 显微镜分辨率：4mm

8. 可测试温度：RT~200℃

9. 迈锐软件，全自动控制平台移动。