样品尺寸

不大于 150mm

不大于200mm

样品台XY移动范围

155mmx155mm

200mmx200mm

样品台XY移动分辨率

5um

5um

样品台XY移动轴承

精确横轧辊

精确横轧辊

台面移动

12.7mm

12.7mm

台面调整

粗调及细调，1.5mm重现性

粗调及细调，1.5mm重现性

台面平整度

<12.7um (150mm台面)

<12.7um (200mm台面)

台面刚性

<50um (4.5公斤承重)

<50um (4.5公斤承重)

真空卡盘

多区域真空吸附

多区域真空吸附

卡盘平整度

+/-13um

+/-13um

卡盘击穿电压

>500V

>500V

卡盘绝缘性

>1GW

>1GW

卡盘调节

360度粗调，+/-6度细调

360度粗调，+/-6度细调

显微镜

高品质立体显微镜，放大倍率：3.5X~180X，工作距离：200mm；

多种高倍显微镜；

高品质立体显微镜，放大倍率：3.5X~180X，工作距离：200mm；

多种高倍显微镜；

电学接口

BNC, Triax or Banana plug

BNC, Triax or Banana plug

尺寸

78cm x 80cm x58cm (W x D x H)

128cm x 122cm x 92cm (W x D x H)

重量

85kg ~ 95kg

85kg ~ 100kg

样品快速装载选件

不包括

包括