大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品技术特点

【技术特点】-- 大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。

【技术特点对用户带来的好处】-- 大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品

【典型应用举例】-- 大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品