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德国Sentech等离子体沉积机PECVD Depolab 200
SENTECH
进口 半导体专用检测仪器设备
参考成交价格:
5~10万元[人民币]
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Depolab 200
PECVD等离子体沉积工具
打开盖子加载
适用于200毫米晶圆
基片温度可达400℃
低应力薄膜可选低频混频
干式抽油机
占用空间小
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