1-0.5

0.5μm

+0.3μm, -0μm

1-1.0

1.0μm

+0.5μm, -0μm

1-2.0

2.0μm

±0.5μm

1-3.0

3.0μm

± 0.5μm

1-5.0

5.0μm

± 1μm

1-10

10μm

± 1μm

1-15

15μm

±1.5μm

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20μm

± 2μm

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25μm

± 2μm

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± 2μm

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