椭偏振动光谱
利用红外光谱中分子振动模的吸收带,可以分析薄膜的组成。此外,载流子浓度可以用傅立叶红外光谱仪FTIR测量。
傅立叶红外光谱仪FTIR完全适用
集成赛默飞世尔Thermo Fisher制造的型号FTIR iS50红外光谱仪。它也适用于一般的振动光谱。
光谱椭偏仪SENDIRA用于测量薄膜厚度,折射率,消光系数以及体材料,单层和多层堆叠膜的相关特性。特别是覆盖层下面的层在可见范围内是不透明的,现在也可以进行测量。同时可以分析材料的组成和大分子基团和分子链的走向。