主要技术参数

波长范围

<30nm-300nm*

光学结构

Seya-Namioka

真空度支持

10^-6Torr,或10^－10Torr

焦距长度

500mm

分辨率，半高宽

0.05nm*

色散

1.66nm每毫米

校准精度

0.1nm

重复性

0.005nm

步距

0.0002nm

焦平面尺寸

25mm

数值孔径

f/11.4

光栅尺寸

30*50mm 凹面光栅

杂散光抑制比

10^-5

充氮气

可选

可选探测器

CCD、MCP或单点探测器

狭缝

10um-3mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选

不同光栅主要参数

光栅密度（g/mm）

3600

2400

1800

1200

600

300

分辨率**

0.02

0.03

0.035

0.05

0.1

0.2

色散（nm/mm）

0.55

0.8

1.1

1.6

3.2

6.4

波长范围30nm至

100nm

150nm

200nm

300nm

600nm

1.2um