光谱范围

Si

InGaAs

UV

400-1100nm

800-1800nm

190-1100nm

光束功率范围

Si

InGaAs

UV

100μW-1W（自带衰减片）

100μW-1mW（自带衰减片）

100μW-1mW

光束大小（D）

9mm(有透镜，Si& UV)

12.7mm(无透镜，Si& UV)

3mm/5mm(无透镜，InGaAs)

分辨率

≥10μm

焦深精确度

±50μm

尺寸

100x173x415mm

机械调节

水平角度：±1.5°

垂直角度：±1.5°