残余气体分析仪PrismaPlus 技术参数:
型号 | QMG 220 F1 | QMG 220 F2 | QMG 220 F3 | QMG 220 M1 | QMG 220 M2 | QMG 220 M3 | ||||
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||||||
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | ||||
四极杆直径/长度 | 6/100 mm | |||||||||
最小检测极限 F mbar | 1X10-12 | 2X10-12 | 4X10-12 | 5X10-12 | 1X10-11 | 2X10-11 | ||||
最小检测极限 M mbar | - | - | - | 1X10-14 | < 2X10-14 | < 4X10-14 | ||||
对Ar的灵敏度 F A/mbar | 1X10-3 | 6X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 3X10-4 | 1.5X10-4 | ||||
对Ar的灵敏度 M A/mbar | - | - | - | 200 | 200 | 100 | ||||
最大工作压力 F | 1X10-4 mbar | |||||||||
最大工作压力 M mbar | - | - | - | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 | ||||
对临近质量数的影响 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | ||||
操作温度 F | 150 °C | |||||||||
烘烤温度 F | 200 °C / 300 °C | |||||||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | |||||||||
重量 | 2.4 kg | 2.4 kg | 2.4 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | ||||
残余气体分析质谱仪应用:四极质谱仪QMG非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例一:分子束外延 MBE 气体分析