伯东普发四级质谱分析...

伯东普发四级质谱分析仪 PrismaPlus参数指标

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残余气体分析仪PrismaPlus 技术参数:

型号

QMG 220 F1

QMG 220 F2

QMG 220 F3

QMG 220 M1

QMG 220 M2

QMG 220 M3





检测器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)









质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300





四极杆直径/长度

6/100 mm










最小检测极限 F mbar

1X10-12

2X10-12

4X10-12

5X10-12

1X10-11

2X10-11





最小检测极限 M mbar

-

-

-

1X10-14

< 2X10-14

< 4X10-14





对Ar的灵敏度 F A/mbar

1X10-3

6X10-4

3X10-4

5X10-4

3X10-4

1.5X10-4





对Ar的灵敏度 M A/mbar

-

-

-

200

200

100





最大工作压力 F

1X10-4 mbar










最大工作压力 M mbar

-

-

-

1X10-5

1X10-5

1X10-5





对临近质量数的影响

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm





操作温度 F

150 °C










烘烤温度 F

200 °C / 300 °C










连接法兰

DN 40 CF-F










重量

2.4 kg

2.4 kg

2.4 kg

3.8 kg

3.8 kg

3.8 kg
















残余气体分析质谱仪应用四极质谱仪QMG非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺

上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例一:分子束外延 MBE 气体分析

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