典型应用：
?残余气体分析

在一个容器内分析残余气体，当达到所需的极限压力或条件要求时，HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)提供深入了解剩余物质的组成成分。这可以得出关于物质表面属性，解析行为，纯度和容器的密封性，以及工艺气体组成的结论。它提供给客户关于真空室或真空元件状态的重要资讯。