配备 1 个平面研磨站以及 1 个精磨/抛光站 (150/300 rpm)。配备循环冷却单元、1 个瓶单元、具有 3 个 DP 泵的 1 个加液系统，磨削率传感器和研磨盘冷却。配备内置的 PC 和触摸屏操作。

配备 2 个精磨/抛光站 (150/300 rpm)、2 个瓶单元以及具有 3 个 DP 泵的 1 个加液系统、具有 2 个 DP 泵和 1 个 OP 泵的 1 个加液系统，以及研磨盘冷却。