SpecEL椭偏仪基本性能：

●基本型号：SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR

●光谱范围：290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)

●测量范围：1nm~10μm

●膜厚分辨率：0.1nm

●测量时间：7~13s

●测量膜层：32层

●光束直径：300×1200μm (Smaller spots available)

●入射角度：700 (other angles available)

●样品调整：高度±1mm；倾斜±10

●测量指标：光学常数(n&k)及膜厚

●快速响应：在线测量

●基底材料：硅晶片和玻璃片等

●数学模型：折射率/谐振子/柯西/塞耳迈耶尔/麦克斯韦-加尼特等数学模型

●应用场合：光学镀膜/保护膜/聚合物/光刻材料/平面平板显示/导体集成电路