测量范围 mbar l/s

5X10^-12

1X10^-10

3.5X10^-8

1.5X10^-8

初检压力mbar

0.2

1

18

--

氦气抽速 l/s

6

1.8

依据前级泵抽速

--

进气法兰

DN 16 KF/DN 25 KF

电压 V

90 - 240

重量 kg

真空模块 14.5，电子模块 4.5 控制面板 1.5