环境温度 °C

5 - 40

5 - 40

5 - 40

进气法兰

DN 100 ISO-K

DN 100 ISO-K

DN 100 ISO-K

排气法兰

DN 40 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

冷却方式

水冷

水冷

水冷

最大冷却水流量 l/m

5

5

5

抽速 50 Hz

480 m3/h

-

-

抽速 60 Hz

560 m3/h

560

560

极限压力,打开氮气吹扫阀 50 Hz

9 X 10-3 hPa

-

-

极限压力,打开氮气抽扫阀 60 Hz

6 X 10-3 hPa

6 X 10-3 hPa

6 X 10-3 hPa

最大气体流量

60 Slm

60 Slm

60 Slm

适用于最大腔体

1 m3

10 m3

10

最大功率 kW

1.8

2

2

噪音 dB(A)

68

68

68

电压 V

三项 200-480

三项 200-230 V

三项 380-480 V

尺寸 mm

872 x 370 x 779

872 x 370 x 779

872 x 370 x 779

重量 kg

320

320

320