Edwards T-Station 85分子泵泵组参数指标

NW40

47 ls^-1

ISO63/CF63

84 ls^-1

压缩比（N₂）

>1x10¹¹

前级泵抽速（50Hz）

E2M1.5

1.6 m³h^-1

XDD1

1.2 m³h^-1

极限压力

<5 x 10^-10mbar

入口法兰

NW40、ISO63 、 CF63

出气口法兰

E2M1.5（TS85H Wet）

φ11mm 接嘴或 3/8 “ BSP

XDD1（TS85H Dry）

装配消音器或 1/8 “ BSP

重量

E2M1.5（TS85H Wet）

21 kg/48   lb

XDD1（TS85H Dry）

17 kg/40   lb

噪声

56 dB(A)

漏率

<1 x 10^-6mbar l/s

工作温度

12℃-40℃