概述
Edwards有源倒磁控管真空规(AIM)在一个紧凑的有源装置中内置了真空探头和控制器。从科学仪器到工业流程的多种应用场合,均已证明该真空规坚固可靠。
AIM真空规具有线性输出,易于与计算机或PLC集成使用。
性能特点
驱动电路已嵌在真空探头内,简化了系统设计并能节省宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽,具有很强的抗噪性,允许使用长电缆传输(最长可达100m)
低磁场型XL适用于灵敏应用,如质谱分析和电子显微镜
管体可更换,允许快速更换管件而无需预校准
通过CSA、C/US认可
应用范围
普通真空
镀膜机
真空炉
科学仪器
半导体