【技术特点】-- Edwards EXT75DX涡轮分子泵

概述

EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，采用成熟的轴承技术，上轴承为永久性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并采用Holweck拖曳分级技术，可以DC 24V直接驱动，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可选。

基本的分子泵系统通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

性能特点

• 智能控制，功耗低，减少运行成本

• 与Edwards TIC涡轮与仪表控制器兼容，可以添加1~3真空规而无需额外真空控制器，可以连接冷却风扇和自动放气阀

• 并行或串行接口：并行模式允许使用传统控制模式；串行模式提供RS232接口，可以全面控制分子泵状态，并连续监控放气阀设置、运行转速、待机转速、可编程功率设置、功耗、泵/控制器温度

• 入口配有筛网

• 上轴承为永久性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低

• 配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）

• Holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差

• 带有吹扫口，提供制程气体稀释，以保护电机和下轴承

【技术特点对用户带来的好处】-- Edwards EXT75DX涡轮分子泵

【典型应用举例】-- Edwards EXT75DX涡轮分子泵