波长范围:160 ~ 800nm
分辨率:≤0.012nm (160-430nm), ≤0.022nm (430-800nm)
光学系统:双面4343/2400 刻线/毫米离子刻蚀全息闪耀光栅
固态式发生器:频率40.68MHz
功率750W ~ 1550W
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