技术数据:
缸孔直径 [mm] 72 – 142
垂直驱动范围 [mm] 127
测量范围 [µm] ± 150
最大垂直分辨率 [nm] 1
X,Y,R 定位不确定度[µm] 5
采样速率 [µm/s] 2
第一测量点与平台间距离 (高度) [mm] 0
最后测量点与平台间距离 (深度) [mm] 137
尺寸 [mm] 320 x 320 x 380
重量 [kg] 16