技术参数:
●测量面积 [μm] 250 x 250 (或定制)
●垂直分辨率[nm] >1
●横向分辨率[μm] >1
●测量时间 [s] 3-50
●测量范围 [μm] 150
●图片尺寸 [Pixel] 1300 x 1100
●外观尺寸 [mm] 400 x 120 x 160
●重量 [kg] 5
●位移:
X 轴 [mm] 30
Y 轴 [mm] 10