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产品型号： UTA-IA
品牌：ARMS SYSTEM
产品产地：日本
产品类型：进口
原制造商：ARMS SYSTEM
状态： 在售
厂商指导价格：
未提供
英文名称： UTA-IA
上市时间：
2016年
优点： 显微镜LED曝光单元UTA系列是用于光刻的图案投影曝光设备，其不需要掩模。 （无掩模曝光装置） ·使用金属显微镜和LED光源DLP投影仪，在涂有抗蚀剂的基板上投射几微米分辨率的任何图案并进行曝光。 ·可以在个人计算机上自由创建图案。
参考成交价格：
1~20000元[人民币] 查中标价
2893
