主要特性：

l 直接X-ray探测

l 整机放置在真空室内，提供完整真空穿通的解决方案

l 采用Teledyne e2v公司CCD

l 探测能量1.2eV-20KeV

l TEC深度制冷，制冷到-80℃，降低暗电流，以延长曝光时间

l 采用内部场景技术获得超高动态范围93dB

关键指标：

分辨率

2048x2048

2048x512

暗电流

0.0004e/p/s@-75℃

满井电荷

100Ke-

读出噪声

2.3e-

A/D深度

16bit

典型应用：

l X-ray显微成像

l X-ray等离子诊断

l 全息成像和半导体光刻

l 断层影像

l 晶体学

l 高次谐波产生

l 相衬成像和源特性

l 极紫外、真空紫外成像