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参数
| 氦气纯化器 | |
| 纯化气体： | He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn |
| 最大操作压力： | 1000 psig |
| 不纯气去除： | 输入气杂质浓度在10ppm 纯化输出低于10ppb H2O, H2, O2, N2, NO, NH3, CO, CO2, CH4, 其他气体去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2 |
| 不被去除的： | He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn |
氮气纯化器 | |
| 纯化气体： | 只纯化N2 |
| 不纯气去除： | 输入气杂质浓度在10ppm 纯化输出低于10ppb H2O, H2, O2, NO, NH3, CO, CO2, CH4, 其他气体去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2 |
| 不被去除的： | 同氦气纯化器 |