气相色谱仪配套产品气...
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参数

氦气纯化器
纯化气体：

He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn

 

最大操作压力：

1000 psig

 

不纯气去除：

输入气杂质浓度在10ppm

纯化输出低于10ppb

H2O, H2, O2, N2, NO, NH3, CO, CO2, CH4,

其他气体去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2

不被去除的：He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
 氮气纯化器
纯化气体：

只纯化N2

 

不纯气去除：

输入气杂质浓度在10ppm

纯化输出低于10ppb

H2O, H2, O2, NO, NH3, CO, CO2, CH4,

其他气体去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2

 

不被去除的：同氦气纯化器



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