特征: | |
基本尺寸: | Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
工艺腔体 | 运用不锈钢冷腔室壁技术 |
温度范围 | 标准配置:最高达到1250°C 高温配置:最高达到1450°C |
温度控制 | 标准配置:热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制 |
真空和气体 | 最多可达5路带MFC的工艺气体,一路清洁气体 |
电脑控制 | 全PC电脑控制,每个配方最多100步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设计 |
选项: | |
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件 | |
应用: |