特 征:

● 模式：直接浸泡式等离子清洗可以高速刻蚀和表面改性；

远程等离子体可以轻微的清除表面污染，如SEM/TEM样 品清洗

● 操作：自动配方执行；自动作业顺序执行；亦手动控制

● 等离子传感器：双等离子强度传感器（zl申请中）实时监测

等离子源和远程等离子源且等离子强度实时显示LCD触摸屏上

● 先进工艺控制：压力传感器、温度传感器、MFC气体流量计、双等离子强度传感器、自动阻抗匹配

● 腔体材料：铝法兰，石英腔体

● 石英腔体尺寸：内径：110mm；深280mm

● 样品架：2mm厚高纯度石英板

● 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 在等离子清洗机中发现的金属溅射问题

● 射频功率：13.56mhz射频电源，自动阻抗匹配

射频功率有两种选择：0-75watt和0-150watt

● 工艺气路：高达三个MFC气路

● 用户界面：7寸电阻式触摸屏

● 软件：总共20个可定制的配方。每个工艺多达三个步骤