压力范围（MPa）

Max.15 MPA

压力准确（MPa）

≤0.1

流量设定误差%（ML/min）

≤±1.5%

流量重复性误差%（ML/min）

≤2%

压力脉动（MPa）

≤0.2

压力准确度（MPa）

≤0.2