技术参数

最大臭氧量：2克供气

压力：1.0 X 10 - 7Torr~ 10Tcrr

冷却方式：液氮

供气方式：加热挥发

热偶：K型

供气接口：CF或VCR接头

温控方式：数字PID

通讯接口：LAN