金铠仪器 CVD反应装置...
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技术参数

- 气路:1-4(任选);

- 加热炉:1-2(任选),加热炉温度Max:1000 ℃

- 气体质量流量器:0 - 500 mL/min(任选);

- 工作压力:常压;

- 温度控制:± 0.5 ℃;

- 计算机控制(任选)。



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