分辨率: 1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV
放大倍数:10-1,000,000×
加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选)
低真空范围: 2-133Pa (Sigma 300VP可用)
样品室: 365 mm(φ),275mm(h)
样品台:5轴优中心全自动