桨态床沉积制备装置
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配置清单:

序号

名称

数量

单位

1

真空泵

1

2

转子流量计

2

3

减压阀

1

4

背压阀

2

5

压力表

7

6

精密压力表

2

7

压力变送器

2

8

K型热偶

4

9

补偿导线

1

10

气体过滤器

4

11

两通球阀

22

12

单向阀

2

13

安全阀

2

14

连接件

1

15

工艺管线

1

16

反应釜

2

17

底部放液阀

2

18

冷凝器

2

19

气液分离器

3

20

恒温槽

2

21

标准框架

1

22

控制箱柜

1

23

温度显示表

4

24

组态软件

1

25

通讯模块

1

26

无线通讯模块

2

27

可燃气体报警器

1

 


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