【技术特点】-- 蔡司Gatan SmartEMIC 电子束感应电流测量系统

产品系统特点：

高性能、地噪声EBIC系统，进行定量EBIC测量。界面友好的智能分析软件运行于DigitalMicrograph软件平台。

用于SEM的SmartEBIC 系统包括：

•计算机控制的、充电电池供电的EBIC放大器

•高级EBIC样品座(ASH)，并配有可调节的钨探针以进行台式接触。配以适当的Gatan适配器还可以通过空气锁来装载试样*

• 与SEM样品台接口

•链接插座及4个BNC型的电缆链接，低噪声这空馈通，适于EBIC和电子束流的测量

•具有Fireware技术的DigiScan II数字电子束控制系统。它包括两个模拟输入，可同时采集摄影质量的图像，并可灵活控制像素强度、每点驻留时间、扫描旋转等。对于某些SEM，它还可以通过软件通讯SEM的操作参数。

•配有先进的SmartEBIC应用插件的Digital Micrography软件，以进行定量测量、线性轮廓的实时和后处理分析

【技术特点对用户带来的好处】-- 蔡司Gatan SmartEMIC 电子束感应电流测量系统

【典型应用举例】-- 蔡司Gatan SmartEMIC 电子束感应电流测量系统