Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值。
产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用案例
应用领域
半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等) LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等) LED (SiO2、光刻胶ITO等)
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等) 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等) 医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)