参数：

• 2 J / pulse electrical input

• > 0.4 mJ / sr / pulse  EUV inband

• < 500 mm source diameter FWHM

• > 50 Hz Reprate

• Permanent operation 7 days / 24 h

• Guaranteed 100.000.000 pulses；
       Tested up to 230.000.000（> 1200 hours）

• Flexible head orientation