离子溅射仪喷金仪镀膜仪SD-900参数指标

参数：

主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

        样品台尺寸：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台

靶材尺寸：Ф50mm    

真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2   mbar

离子电流表： 最大电流：50mA

定时器：     最长时间：0-360S

微型真空气阀：可连接φ3mm软管

可通入气体： 多种

最高电压：  -1600  DCV

机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

        输入电压：220V(可做110V),50HZ