参数：

?主机规格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

?靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

?靶材：Au（标配）

?样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

?靶材尺寸：Ф50mm    

?真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2   mbar

?离子电流表： 最大电流：50mA

?定时器：     最长时间：1-360s

?微型真空气阀：可连接φ3mm软管

?可通入气体： 多种

?最高电压：  -2800  DCV

?机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）