日立高新SU-1510扫描电子显微镜参数指标

背散射电子分辨率

4.0nm（低真空：60Pa，30kV）

倍率

5 ~ 300,000倍

加速电压

0.3~30 kV

样品台

X  0~80mm

Y  0~40mm

Z  5~50mm

T  -20~80mm

R 360°

样平台控制

手动（可选：2轴马达）

zei大载入样品尺寸

直径：153mm

zei大观察范围

直径：126mm（XYR并用）

zei大样品高度

60mm (WD=15mm)

低真空范围

6-270Pa（从菜单设定）

灯丝

预对中钨灯丝

物镜光阑

4孔可变光阑

枪偏压

固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压

检测器

二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器

EDX分析位置

WD=15mm,TOA=35°

真空系统

分子泵1台，机械泵1台

安全措施

停电，漏电，自动保护