技术参数 
一、测定工件： 
1. 最大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm 
2. 最大工件厚度 50mm 
3. 最大工件重量 2kg 
二、检出器（pick up）： 
1. Z 方向测定范围 Max. 100μm 
2. Z 方向分解能 0.1nm 
3. 测定力 0.5 μN to 500 μN 
4. 触针半径 0.5 , 2 μm 
5. 驱动方式 直动式 
三、X 轴 (基准轴)： 
1. 移动量(最大测长) 100mm 
2. 移动的真直度 0.005μm/5mm 
3. 测定速度 0.005 ~ 2mm/S 
4. 位置定位时速度 Max. 10mm/S 
5. 线性尺(linar scale) 分解能 0.01μm 
6. 位置定位再现性 ± 5μm 
7. 滑轨 材质为在铸铁(CD-5)上,镀上硬质 Cr,无润滑(于移动台侧,使用铁弗龙折动材料) 
8. 驱动 DC motor + Dynamic belt 
四、Y 轴(位置决定用)： 
1. 移动量 52mm 
2. 移动速度 max.3mm/S 
3. 滑轨 Crose roller 滑轨 
4. 驱动 DC motor + 滚珠螺杆(P=2mm) 
5. 检出器自动停止机能 
五、工件台： 
1. 工件台尺寸 210mm×210mm 
2. 自动倾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm 
3. 分解能 0.25μm 
4. 驱动 pulse motor 
六、全自动量测功能 
七、工件观察 max. 80倍(可选购其它高倍率 CCD) 
八、床台 材质为花岗岩石 
九、段差测定再现性 1δ, 5A°以内 
十、防振台(选购) 落地型或桌上型 
十一、电源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA 
十二、本体外观尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震台)