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参数指标
DHM型号 | R1000 | R2100 | R2200 |
激光光源数量 | 1 | 2 | 3 |
工作波长 (± 1.0 nm) | 666 nm | 666 nm, 794 nm | 666 nm, 794 nm, 680 nm |
激光波长稳定性 | 0.01 nm / °C (666 nm) | ||
样品台 | 手动或电动XYZ样品台，最大移动范围 300 mm x 300 mm x 38 mm | ||
物镜 | 放大倍数1.25x 至 100x，可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等 | ||
物镜台 | 6口旋转物镜台 | ||
电脑 | Dell最新工作站，Intel® 多核处理器，高性能显卡 针对DHM优化配置，最小21寸显示器 | ||
专用软件 | Koala专用数据采集分析软件，基于C++ 和.NET 附加专用分析软件供不同应用分析 (MEMS Analy sis Tool，Cell Analy sis Tool，Reflectometry Analy sis) | ||
数据格式 | 多种保存格式，数据格式包括.bin格式和.txt格式 图像格式包括：tif格式和.txt矩阵格式 |
性能
测量模式 | 单激光波长 666 nm | 双激光合成波长 4.2 um | 双激光合成波长 24 um |
可用测量模式的DHM型号 | R1000, R2100, R2200 | R2100, R2200 | R2200 |
测量精度[nm] | 0.15 | 0.15 / 3.0 | 20 |
纵向分辨率[nm] | 0.30 | 0.30 / 6.0 | 40 |
测量可重复性[nm] | 0.01 | 0.01 / 0.1 | 0.5 |
动态可测纵向范围 | 最大200um | 最大200um | 最大200um |
最大可测台阶高度 | 最大333 nm | 最大2.1um | 最大12um |
适用样品表面类型 | 平滑表面 | 复杂或非连续结构表面 | 复杂或非连续结构表面 |
垂直校准 | 由干涉滤光片决定，范围 ±0.1 nm | ||
图像采集时间 | 标准 500us (最快可选10us) | ||
图像采集速率 | 标准 30 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可选 1000 帧/秒) | ||
实时重建速率 | 标准 25 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可选 100 帧/秒) | ||
横向分辨率 | 由所选物镜决定，最大 300 nm | ||
视场 | 由所选物镜决定，范围从 66um x 66um 至 5 mm x 5 mm | ||
工作距 | 由所选物镜决定，范围从 0.3 至 18 mm | ||
数码聚焦范围 | 最高50倍于景深 (由所选物镜决定) | ||
最小可测样品反射率 | 低于 1% | ||
样品照明 | 最低 1uW/cm2 | ||
频闪模块 | 适用于单光源和双光源模式 |