TESCAN MAIA3 扫描电镜参数指标

可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号，在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪，以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。