热场发射扫描电镜—MI...
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二次电子图象分辨率1 nm @ 30 kV，1.8nm @ 1kV 0.8 nm @ 30 kV放大倍数1x 到 1,000,000x
背散射电子图像分辨率00加速电压200 V 到 30 kV / 电子束减速模式下为50 V到 30 kV

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