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产品型号： MPDEX‐21/21-2
品牌：NextCVD
产品产地：江苏
产品类型：国产
原制造商：NextCVD
状态： 在售
厂商指导价格：
未提供
英文名称： MPDEX‐21/21-2
上市时间：
2014-04-15
优点： 电感耦合等离子体系统可以产生高密度（1012~1013 cm-3）的电感耦合等离子体，可以施加频率从0.5~13.56 MHz（低频到中频）的射频电源，外加功率变化范围是0~5000W。主要用于等离子体辅助化学气相沉积（CVD）、薄膜制备与处理、表面改性、刻蚀与晶片清洗等。
参考成交价格：
100~150万元[人民币] 查中标价
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