图像抓取时间

标准: 60 μs (可选高速只需 10 μs)

图像抓取速率

标准: 155 fps (1024 x 1024). (可选最高 1000 fps). 由相机快门速率决定

数值重建速率

标准 25 fps (1024 x 1024)，由电脑运算速率决定. (可选最高 100 fps)

精度
  (定义为对单一像素点做30次测量后取时域标准差)

 小至 0.15 nm

垂直分辨率
  (定义为两倍于精度)

 小至 0.30 nm

可重复性
  (as demonstrated by taking the one sigma Rq value of 30 repeatability   measurements on SiC reference mirror)

小至 0.01 nm

垂直校准

由干涉滤波决定, ±0.1 nm

动态可测垂直高度(无须扫描情况下)

对于连续结构最高可达 200 μm对于台阶最高可达 12 μm

垂直扫描下的可测垂直高度

由电动样品台决定，最高达 10 mm

水平分辨率

由所选物镜决定, 最高 300 nm

视场

由所选物镜决定, 最大 5 mm x 5 mm

工作距

由所选物镜决定, 从0.3 mm 到 18 mm

数字自动聚焦范围

由所选物镜决定,  最大可达景深的 50倍

采样空间

 1024 x 1024 像素点

最低可测样品反射率
  (仅对反射式 DHM )

 < 1%

样品照明

小至 1 μW/cm2