杂质要求： O₂≤1000PPm, H₂O≤1000PPm。

输出纯气

纯度：99.9998%

杂质含量：

O₂≤0.5PPm，

H₂O≤1PPm(即露点≤－76℃)，

CO+CO₂≤0.1PPm，

S、P的氧化物≤0.1PPm。

尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升。

工作压力：0.4-1.5MPa。

处理气量：4NM3/h。