最大量程

50sccm-500sccm(可定制)

精度

±1%F.S.

气体类型

H2/He/N2/Air/Ar（可定制））

响应时间

1s

压差范围

<1MPa

工作温度

0~50℃

工作湿度

0~95%R.H.（非冷凝）

工作电压

24V±10%/12V±10%

信号接口

RS-485（Modbus）

气路材质

不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层

气路接口

1/16

尺寸

55×46×22mm